長科企業(yè)測(cè)試晶圓廠ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)實(shí)例
儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)(ASC:Auto Shelf Clean)作用對(duì)象是玻璃基板收納盒(CST:cassette),而玻璃基板收納盒CST是智能倉儲(chǔ)系統(tǒng)(STK)的組成部分,智能倉儲(chǔ)系統(tǒng)STK能夠通過ASC上的條形碼給識(shí)別每一個(gè)AS,從而安排取放機(jī)Crane的機(jī)械手臂Fork提取ASC主體,這時(shí)ASC就會(huì)偵測(cè)到這個(gè)機(jī)械手臂Fork,就開始執(zhí)行吸塵程序,吸取玻璃基板收納盒CST里面的塵埃,保證將要被加工的玻璃基板是一塵不染的。
ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)吸塵組分兩部分:
1、卡匣與取放機(jī)Crane接觸位置吸取點(diǎn);
2、卡匣與棚位接觸位置吸取點(diǎn);
通過STK Crane搬送時(shí)機(jī)構(gòu)接觸到卡匣前后吸取接觸點(diǎn)集塵,減少粉塵顆粒產(chǎn)生,進(jìn)而凈化整個(gè)STK智能倉儲(chǔ)系統(tǒng)內(nèi)部環(huán)境。
ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔還可選配功能:濕度檢測(cè)、溫度檢測(cè)、風(fēng)速檢測(cè)、震動(dòng)檢測(cè)、VOC。
此外,可通過無線通訊反饋 ASC 的電量到 CIM,以便及時(shí)充電,樣板機(jī)電量可持續(xù)工作8小時(shí)。
ASC儲(chǔ)位自動(dòng)化清潔系統(tǒng)總結(jié)如下:
Stocker Crane Fork→Cleaner CST鐳射傳感器感知Crane Fork→Cleaner CST開始吸取Fork particle 15sec→Cleaner CST開始吸取Shelf load arm 15sec→脫離Fork與Shelf load arm停止